真(zhen)空(kong)泵是一個量(liang)大面廣的產品(pin)(pin)，產量(liang)很大，產值不高(gao)，但它確實是一個直接影響到(dao)真(zhen)空(kong)成套設備(bei)性能質(zhi)量(liang)的必不可(ke)少的基礎產品(pin)(pin)。真(zhen)空(kong)泵從高(gao)/超真(zhen)空(kong)到(dao)粗/低真(zhen)空(kong)，其產品(pin)(pin)大致可(ke)分14大類：

　　高/超真(zhen)空——低溫(wen)泵、分子(zi)泵、濺射離子(zi)泵、鈦升華泵、擴散泵。

　　中真空——干泵(beng)、雙(shuang)級旋片泵(beng)、羅茨泵(beng)、油增壓泵(beng)、水(shui)蒸氣(qi)噴(pen)射泵(beng)。

　　粗/低真空——單級旋片泵、滑閥泵、液環泵、往復式真空泵。

　　真空泵(beng)的市場根據用戶的需要而(er)發生動(dong)態變化。市場增長的主要驅(qu)動(dong)力(li)來自于半導體工業的迅(xun)速發展以(yi)及干(gan)泵(beng)和分子(zi)泵(beng)應用領域的日益(yi)擴大。

　　目前，全(quan)球真空(kong)泵市(shi)場的年銷售額(e)約20億美(mei)元，年增長率在7%左右。

　　我國生產真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)的廠家很多，全(quan)部真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)的年銷售額大(da)約在1.5億元左右(you)，僅相當(dang)于美國Kinney公司一家真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)的年銷售額。通(tong)過(guo)對全(quan)球真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)市場的分析我們可以看出，各(ge)類真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)的市場及應(ying)用(yong)領域都在不(bu)(bu)斷(duan)變(bian)化和發(fa)展(zhan)。我國真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)制(zhi)造(zao)業(ye)有著(zhu)悠久的歷史(shi)和雄厚的基礎(chu)，國產真(zhen)泵(beng)(beng)已經在各(ge)個不(bu)(bu)同領域得到應(ying)用(yong)并經過(guo)驗(yan)證，有些(xie)泵(beng)(beng)還出口國外，得到國外用(yong)戶的認可并受(shou)到好評(ping)，應(ying)該說我國真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)制(zhi)造(zao)業(ye)在國內外市場仍然有著(zhu)巨(ju)大(da)的發(fa)展(zhan)空(kong)(kong)(kong)(kong)間。

　　1.液環泵

　　雖然液(ye)(ye)環(huan)(huan)(huan)泵(beng)屬于粗真(zhen)空(kong)泵(beng)，但在(zai)我(wo)(wo)國(guo)(guo)的(de)石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等(deng)領域仍然有著很大(da)的(de)市場。在(zai)國(guo)(guo)外(wai)，液(ye)(ye)環(huan)(huan)(huan)泵(beng)的(de)銷(xiao)售額占(zhan)全部真(zhen)空(kong)泵(beng)市場的(de)14%，僅次于干泵(beng)，所以(yi)Nash、Seimems和Kinney等(deng)公司(si)都在(zai)我(wo)(wo)國(guo)(guo)投資建廠或建立銷(xiao)售網(wang)絡，不斷擴大(da)在(zai)我(wo)(wo)國(guo)(guo)的(de)市場份額。由于液(ye)(ye)環(huan)(huan)(huan)泵(beng)大(da)部分是鑄件，加工要求(qiu)也不高，屬勞動密集型產品，所以(yi)國(guo)(guo)產液(ye)(ye)環(huan)(huan)(huan)泵(beng)在(zai)價(jia)格上有競爭優勢，關鍵是要改進設(she)計，縮小(xiao)體積(ji)，減輕重量，提高效(xiao)率，降(jiang)低(di)能(neng)耗。

　　2.滑閥泵

　　由于滑(hua)閥(fa)泵(beng)(beng)(beng)比較(jiao)耐用(yong)、可(ke)靠，國內外各(ge)種真空爐(lu)、鍍(du)膜機以(yi)及(ji)干燥(zao)、浸漬(zi)等(deng)設備都是(shi)用(yong)滑(hua)閥(fa)泵(beng)(beng)(beng)作為前級(ji)泵(beng)(beng)(beng)，但(dan)是(shi)滑(hua)閥(fa)泵(beng)(beng)(beng)鑄件重，加工工作量(liang)較(jiao)大，所以(yi)國外各(ge)真空廠都在中國尋找合作伙伴(ban)。為了使國產滑(hua)閥(fa)泵(beng)(beng)(beng)能夠(gou)進(jin)入國際市場，必須(xu)進(jin)一(yi)步降低泵(beng)(beng)(beng)的(de)振動噪聲，杜絕(jue)噴油(you)和漏油(you)，提高滑(hua)閥(fa)泵(beng)(beng)(beng)長期(qi)運行(xing)的(de)可(ke)靠性。

　　3.直(zhi)聯旋(xuan)片泵

　　隨著真空(kong)技術在(zai)各個應用(yong)領域的(de)不斷擴大，直(zhi)聯旋片泵(beng)的(de)需求(qiu)量越來越大。由于這種(zhong)泵(beng)數量很(hen)多，加工(gong)裝配工(gong)作量很(hen)大，價格又(you)很(hen)低，所以有的(de)國外真空(kong)廠(chang)商在(zai)中國建立(li)專業廠(chang)。國產中小型直(zhi)聯旋片泵(beng)在(zai)技術上已經過關，價格又(you)遠比國外的(de)泵(beng)便宜，所以國產泵(beng)仍然有競爭優勢。

　　4.羅茨泵

　　從國(guo)外(wai)羅(luo)(luo)茨泵生產情況(kuang)來看(kan)，國(guo)外(wai)幾家(jia)大(da)公司，如(ru)Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們(men)各家(jia)羅(luo)(luo)茨泵的銷售(shou)額占全(quan)球羅(luo)(luo)茨泵銷售(shou)額的比例都沒超過(guo)5%，這5家(jia)總計才(cai)20%，羅(luo)(luo)茨泵產量不大(da)，但(dan)國(guo)外(wai)羅(luo)(luo)茨泵的價(jia)格(ge)遠(yuan)比國(guo)產泵要高(gao)得多。

　　目前(qian)(qian)，國內(nei)外(wai)幾乎所(suo)有(you)(you)大(da)(da)型(xing)(xing)或小型(xing)(xing)的(de)(de)(de)高(gao)(gao)(gao)真(zhen)空(kong)(kong)和中真(zhen)空(kong)(kong)系統，為(wei)了(le)縮短(duan)抽氣(qi)(qi)(qi)時間、提(ti)高(gao)(gao)(gao)生產(chan)效率都配有(you)(you)羅(luo)茨(ci)(ci)泵(beng)(beng)(beng)(beng)，所(suo)以國產(chan)羅(luo)茨(ci)(ci)泵(beng)(beng)(beng)(beng)一定要(yao)在(zai)占領國內(nei)市場(chang)基礎上設法進入(ru)國際市場(chang)，這(zhe)(zhe)(zhe)樣(yang)就必須(xu)進一步降低國產(chan)羅(luo)茨(ci)(ci)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)振動噪(zao)聲，徹底解決軸封漏油(you)問題，改(gai)進泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)外(wai)觀質(zhi)量(liang)(liang)，提(ti)高(gao)(gao)(gao)泵(beng)(beng)(beng)(beng)內(nei)的(de)(de)(de)光潔度和清(qing)潔度。另外(wai)，還(huan)要(yao)考慮到(dao)有(you)(you)些國家和地區的(de)(de)(de)電(dian)源頻率為(wei)60Hz，更要(yao)確保羅(luo)茨(ci)(ci)泵(beng)(beng)(beng)(beng)在(zai)提(ti)高(gao)(gao)(gao)轉速的(de)(de)(de)情況(kuang)下(xia)長期(qi)運行的(de)(de)(de)可靠性。目前(qian)(qian)，國內(nei)氣(qi)(qi)(qi)冷(leng)(leng)式(shi)直(zhi)排(pai)大(da)(da)氣(qi)(qi)(qi)羅(luo)茨(ci)(ci)泵(beng)(beng)(beng)(beng)進展很快，技(ji)術上已經(jing)(jing)成(cheng)熟。由(you)于這(zhe)(zhe)(zhe)種(zhong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)在(zai)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)口的(de)(de)(de)下(xia)面(mian)(mian)裝(zhuang)有(you)(you)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)冷(leng)(leng)卻(que)器，其中一部(bu)分被冷(leng)(leng)卻(que)的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)通過管道返(fan)回泵(beng)(beng)(beng)(beng)腔以冷(leng)(leng)卻(que)轉子，從而使壓縮熱得平(ping)衡(heng)，所(suo)以這(zhe)(zhe)(zhe)種(zhong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)可以直(zhi)排(pai)大(da)(da)氣(qi)(qi)(qi)。為(wei)了(le)滿足不同極限真(zhen)空(kong)(kong)度的(de)(de)(de)要(yao)求，這(zhe)(zhe)(zhe)種(zhong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)可以串聯使用，一般前(qian)(qian)面(mian)(mian)加一臺氣(qi)(qi)(qi)冷(leng)(leng)式(shi)直(zhi)排(pai)大(da)(da)氣(qi)(qi)(qi)羅(luo)茨(ci)(ci)泵(beng)(beng)(beng)(beng)，所(suo)達(da)到(dao)的(de)(de)(de)極限真(zhen)空(kong)(kong)要(yao)比前(qian)(qian)級泵(beng)(beng)(beng)(beng)高(gao)(gao)(gao)一個數(shu)量(liang)(liang)級。這(zhe)(zhe)(zhe)種(zhong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)由(you)于在(zai)泵(beng)(beng)(beng)(beng)腔內(nei)沒(mei)有(you)(you)工(gong)作介質(zhi)，實際上也是屬于干泵(beng)(beng)(beng)(beng)。目前(qian)(qian)，這(zhe)(zhe)(zhe)種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)冷(leng)(leng)式(shi)直(zhi)排(pai)大(da)(da)氣(qi)(qi)(qi)羅(luo)茨(ci)(ci)泵(beng)(beng)(beng)(beng)及(ji)機組已經(jing)(jing)在(zai)石油(you)、化(hua)工(gong)、塑料、農藥、汽(qi)輪機轉子動平(ping)衡(heng)、航空(kong)(kong)航天空(kong)(kong)間模擬等(deng)裝(zhuang)置上得到(dao)了(le)長期(qi)運行的(de)(de)(de)考驗(yan)，所(suo)以應(ying)該(gai)在(zai)國內(nei)大(da)(da)力推廣(guang)和應(ying)用。

　　5.分子泵

　　分子泵(beng)在國外半導體領(ling)域(yu)里的(de)許多工(gong)藝場(chang)合是用來代替(ti)低溫泵(beng)，尤(you)其是濺射(she)、刻(ke)蝕和(he)LCVD等(deng)裝置都彩(cai)復(fu)合分子泵(beng)和(he)牽引泵(beng)作為主泵(beng)。

　　由于分(fen)子(zi)(zi)泵(beng)對水蒸氣的(de)(de)抽(chou)(chou)速(su)僅(jin)為同口徑低(di)溫(wen)(wen)泵(beng)抽(chou)(chou)速(su)的(de)(de)四分(fen)之(zhi)一，所(suo)以(yi)分(fen)子(zi)(zi)泵(beng)的(de)(de)排氣時間比低(di)溫(wen)(wen)泵(beng)長。為了提(ti)高(gao)抽(chou)(chou)速(su)，國(guo)外(wai)在分(fen)子(zi)(zi)泵(beng)的(de)(de)入口側裝(zhuang)一個-130℃~-150℃的(de)(de)低(di)溫(wen)(wen)冷(leng)板(ban)，稱之(zhi)為低(di)溫(wen)(wen)分(fen)子(zi)(zi)泵(beng)，水蒸汽被(bei)低(di)溫(wen)(wen)板(ban)捕獲，其他氣體則由分(fen)子(zi)(zi)泵(beng)抽(chou)(chou)走。這種低(di)溫(wen)(wen)分(fen)子(zi)(zi)泵(beng)在真空鍍膜(mo)(mo)裝(zhuang)置上應用(yong)，既提(ti)高(gao)了生產效率又(you)改善了膜(mo)(mo)層質量。隨(sui)著我國(guo)半導體工業、薄膜(mo)(mo)產業和科學(xue)研(yan)究事(shi)業迅速(su)發(fa)展，分(fen)子(zi)(zi)泵(beng)應該是我國(guo)真空泵(beng)制造(zao)業發(fa)展的(de)(de)重點。首先，分(fen)子(zi)(zi)泵(beng)要從小到大建立(li)完整系列(lie)，并(bing)研(yan)究開發(fa)各種復(fu)合(he)分(fen)子(zi)(zi)泵(beng)、牽引(yin)泵(beng)和低(di)溫(wen)(wen)分(fen)子(zi)(zi)泵(beng)，以(yi)滿足(zu)不同場(chang)合(he)的(de)(de)需(xu)要。

　　6.干泵

　　國(guo)外干泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)市場的(de)(de)(de)(de)不斷增(zeng)(zeng)長，其(qi)主要驅動(dong)來自于半(ban)導(dao)體行業(ye)(ye)、化學(xue)工業(ye)(ye)、薄(bo)膜產(chan)業(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)迅速(su)發展。在日本，半(ban)導(dao)體行業(ye)(ye)已全(quan)部用(yong)干式(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)代替(ti)油(you)封式(shi)機械(xie)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)，歐美半(ban)導(dao)體行業(ye)(ye)45%以上用(yong)干式(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)代替(ti)了(le)油(you)封式(shi)機械(xie)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)，大(da)大(da)提高了(le)產(chan)品的(de)(de)(de)(de)性能(neng)和質(zhi)量(liang)。為(wei)了(le)滿足不同應(ying)用(yong)領(ling)域(yu)和不同工況的(de)(de)(de)(de)要求，國(guo)外有多(duo)級羅茨(ci)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、多(duo)級爪式(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、螺桿式(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、渦旋式(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、往復式(shi)活塞真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)以及渦輪式(shi)無油(you)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)等。極限壓力(li)從10Pa～10-2Pa，抽(chou)速(su)從20m3/h～500m3/h。據統計，目前國(guo)產(chan)干泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)應(ying)用(yong)還不足1%，國(guo)內半(ban)導(dao)體工業(ye)(ye)用(yong)的(de)(de)(de)(de)干泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)全(quan)部從國(guo)外進(jin)口，其(qi)價格十分昂(ang)貴。所(suo)以，我國(guo)應(ying)大(da)力(li)研究(jiu)開發干泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)，使干泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)成(cheng)為(wei)我國(guo)真(zhen)空(kong)(kong)工業(ye)(ye)新的(de)(de)(de)(de)經濟增(zeng)(zeng)長點。